ems150t的机壳是整体成型的,结构坚固耐用,配有气冷的70l/s的涡轮分子泵,自动进气控制保证了溅射期间优秀的真空水平,真空腔室直径为165mm并带有防爆装置。ems150t具有“真空闭锁”功能,可在设备不工作时维持腔室的真空度,从而保证高真空的性能。
ems150t系列全自动高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪给用户以类似傻瓜相机的简单操作、的镀膜质量和对熟手/新手都很理想的用户界面,让用户真正领略的镀膜品质!
根据不同的应用方向,ems150t细分为三个型号:
ems150ts:高分辨率溅射镀膜仪high resolution turbomolecular pumped sputter coater,可溅射易氧化和不易氧化金属,可选各种溅射靶材,包括场发射电镜常用的铱和铬。
ems150te:高真空镀碳仪,可制作高稳定的碳膜和表面覆形膜,是tem应用理想的选择。
ems150tes:集合了离子溅射和热蒸镀两种真空沉积镀膜方式,镀膜头可在几秒内快速更换,逻辑系统自动识别所装的镀膜头类型,并显示相应的操作模式。
注:上述各型号都可配备如下可选的附件:金属蒸镀、碳丝蒸镀、膜厚测量等
触摸屏控制:
ems150t操作十分简单,直观的触摸屏,即使不熟练的操作者也可以自由操作,同时可方便的键入和存储数据。为了方便使用,设备中已经预存一些了典型的溅射和蒸发镀膜参数资料。
镀膜插入头选项:
具有一系列可互换、即插即用的镀膜插入头
溅射插入头适用于易氧化和不易氧化金属材料。直径57mmx0.3mm厚铬靶为标准靶材。
可用另外的溅射插入头来快速更换镀膜材料(仅为ts和tes型号)
适用于3.05mm碳棒蒸发插入头
适用于6.15mm碳棒蒸发头,建议使用3.05mm直径的碳棒,它们更容易控制、更经济。
碳丝蒸发插入头
金属蒸发和光阑洁净头,包括向上蒸发或向下蒸发(仅为te和tes型号)
样品台选项
ems150t具有各种易更换的样品台,drop-in落入式设计具高度可调(除旋转行星台)。
·标准配置为旋转台, 直径为50mm
·可预设倾斜角度的旋转台(可选)
·可变角度旋转行星台(可选)
·可用于4〞晶圆的平面旋转台(可选)
·显微镜载玻片样品台(可选)
其它选项
·用于高样品的加高腔室
·膜厚监测器(ftm)
·用于测量低和高真空的全范围真空计
特点和优点:
● 金属溅射或碳蒸发或两者兼备:一体化设计,节约空间
● 精细颗粒溅射:高分辨率场发射扫描电镜(fe-sem)制样的精细镀膜应用
● 涡轮分子泵高真空系统:允许不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材的溅射镀膜,大大拓宽了可溅射靶材范围,既适合普通sem、高分辨率fe-sem镀膜制样应用,也为许多薄膜应用等材料科研领域提供理想的镀膜平台
● 全自动触摸屏控制:快速数据输入,简单操作
● 可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理想
● 与镀膜过程和镀膜材料相匹配的预编程自动真空控制
● 精细的厚度控制:使用膜厚监控选项
● “智能”式系统识别:自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型
● 高真空碳蒸镀:对sem和tem镀碳膜应用非常理想
● 蒸发电流波形控制
● drop-in落入式快换样品台(标配旋转台)
● 真空闭锁功能:可让工作腔室处于真空状态,改善后续真空效果,或在真空条件下保存样品
镀制厚膜能力:一次真空条件下的溅射时间可长达60分钟(材料科研领域的应用)
● 人体工程学设计的整体成型机壳:易维护和易拆装
● 带有本地ftp服务器连接的以太网端口:简单的程序更新
● 设有功率因素补偿,有效利用电能,降低运行成本
● 符合当前电器法规(ce认证)
ems150t全自动镀膜系统技术指示:
工作腔室:150mm(内径)*127mm(高)硼硅酸盐玻璃腔室,并带整体安全防护罩
触摸屏用户界面:带有触摸按钮的全图像界面,包含多达十个镀膜程序,可提醒何时需要维护。
样品台:转速为8-20rpm的旋转台
真空系统:
涡轮子分子泵:带有内部空气却的涡轮分子泵,抽速为70l/s
旋转机械泵:抽速为50l/m的两级旋转机械泵,带有油污过滤器
真空测量:皮拉尼真空计作为标配
极限真空度:10-5mbar两级
溅射工作真空范围:5*10-3到5*10-1mbar
工艺参数:
溅射:0-150ma。可预设膜厚(需ftm选项)或使用内置定时器。
碳蒸发:稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发,确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。
电流脉冲:1-90安培
金属蒸发和光阑清洁头:用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。可配备一个标准钼舟用于清洁sem或tem光阑。
金属蒸发头被安装用于向下蒸发,但向上蒸发也能通过配装两个延长电极(可提供)而获得。
services and other information:
气体:溅射工作气体气,99.999%(ts和tes版本);,放气破真空气体(可选)
电源需求:90-250v~50/60hz 1400va 包括旋转机械泵;110/240v可选择电压
尺寸:仪器机箱585mm宽*470mm*410mm高(总高650mm)
仪器总重量:33.4kg
溅射靶材和碳耗材供应:ems150ts和ems150tes标配铬靶,但可选用的其它靶材范围很宽,包括那些广泛用于sem制样的靶材,如:au金靶,au/pd金钯,pt铂靶,和iridium铱靶。对非sem应用,可选用的靶材包括:ai铝,ta钽,ito氧化铟锡,fe铁,w钨,ti钛,等等:碳制品包括高纯度碳棒和碳丝纤维。
ems150t 离子溅射率溅射镀膜仪
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