图源鄄远为拨杆传动工件架的示意图。如果在真空室底板或真空室下

部的空间无法安排传动机构，茂名复合离子镀膜机，而在真空室的顶部有可能安排时，这种结

构可将电机置于真空室的顶部。其特点是结构简单，加工方便，制造成

本不高。

除上述四种工件架的传动方式外，根据基片形状，镀膜机工件

架的传动结构还可以采用链式传动形式。这几种工件架传动结构的

设计计算都是机械设计的常规计算，在有关的机械设计书籍中都可

以查到。

由上述分析可知，靶的磁场强度越大，磁场在端部区域和直道区域

的差异越大，端部异常刻蚀现象越明显。传统设计的矩形阴极靶，复合离子镀膜机价格，其端

部磁场强度与中部磁场强度存在着较大的差异，一般情况下，靶的端部

磁场强度仅为中部磁场强度的猿园豫 耀 源园豫，“端部效应”总是产生在中

部直道位置与端部拐角位置的连接处磁场强的部位，复合离子镀膜机厂，也就是电子由弱磁

场向强磁场运动的强磁场一侧。有资料介绍，靶端部的溅射刻蚀速率比

靶中间部位的高约员郾 缘 倍。矩形 陨栽韵烧结靶端部拐角处与靶中部沟道深

度比值可以达到员郾 苑缘颐 员，单晶硅靶的比值更高，使本来就不高的靶材利

用率进一步降低。

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