涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同 真空镀膜分子泵，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳化合物的分压力在10- 4 torr（13.33 mpa）～10- 6 torr（133.3 pa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 torr（13.33 fpa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使灵敏的质谱仪也难以测出。

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优点

涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

气体输送能力强

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如、）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富的工艺过程，质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵 光储媒体分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

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